1991

Leybold Durferrit GmbH se fundó como una fusión de las divisiones de Heraeus, Leybold y Degussa.

1950

Degussa también decidió construir equipos de vacío.

1930

Leybold comenzó a fabricar equipos industriales de vacío.

1916

  Primer aplicacion de Tecnología de vacio en Heraeus como precursor de ALD