1991

Die Leybold Durferrit GmbH wird als Zusammenschluss von Unternehmensbereichen der Firmen Heraeus, Leybold und Degussa gegründet.

1950

Degussa entschied sich auch Vakuumanlagen zu bauen.

1930

Leybold begann mit der Herstellung von industriellen Vakuummachinen.

1916

Erste industrielle Anwendung der Vakuumtechnologie bei Heraeus als Vorläufer der ALD.